Landau Suiyan工博会展出EUV光源原型

Landau Suiyan 在中国国际工业博览会展出中国最先进的公开 EUV 光源原型，据解放日报报道，该原型国产化率达 90%，核心部件多为自研，采用与国际龙头相同的技术架构，已具备芯片曝光测试条件。 EUV 光源是 sub-7nm 芯片制造的三大核心部件之一，长期受海外垄断与出口管制，被视为中国芯片自主的关键瓶颈。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。